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而高真空級處氣體分子自由程大，氣體阻力大，故間隙可以取得比低真空級大例如英國EDWARDS公司的E2M40旋片泵，低真空級端面間隙為006mm，而高真空級端面間隙為0095mm又如日本ULVAC真空技術株式會社的D650K旋片泵。繼而，氣筒內部的氣體輸送到氣筒外部，實現了排氣22氣體捕集泵氣體捕集泵是...