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檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是粒子計數器，高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計以下簡稱光度計，是一種前散射線性光度計，它由真空泵光散射室光電倍增管信號處理轉換器和微處理器等。托里拆利認為，玻璃管汞面上的空間是真空，76厘米高的汞柱是因為存在大氣壓力的緣故1650年，德國的蓋利克制成活塞真空泵...