(真空泵說明書)

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如移動轉動加熱降溫拉長等的裝置探測器用來收集電子的信號或次級信號真空裝置用以保障顯微鏡內的真空狀態，這樣電子在其路徑上不會被吸收或偏向，由機械真空泵擴散泵和真空閥門等構成，并通過抽氣管道與鏡筒相聯接電源柜由高壓發生器勵磁電流穩流器和各種調節控制單元組成。