(edwards真空泵RV12中國官網)

而高真空級處氣體分子自由程大，氣體阻力大，故間隙可以取得比低真空級大例如英國EDWARDS 公司的E2M40旋片泵， 低真空級端面間隙為006 mm，而高真空級端面間隙為0095mm又如日本ULVAC真空技術株式會社 的D650K旋片泵。

繼而，氣筒內部的氣體輸送到氣筒外部，實現了排氣22 氣體捕集泵 氣體捕集泵是通過合適的溫度將氣體冷凝到活性襯底上，比如活性炭3 真空泵的廠家 國內中科科儀，沈陽科儀，北儀優成等國外EDWARDS， ULVAC，AGILENT。