(真空泵cfm)

檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是粒子計數(shù)器，高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計以下簡稱光度計，是一種前散射線性光度計，它由真空泵光散射室光電倍增管信號處理轉(zhuǎn)換器和微處理器等。

托里拆利認(rèn)為，玻璃管汞面上的空間是真空，76厘米高的汞柱是因為存在大氣壓力的緣故1650年，德國的蓋利克制成活塞真空泵1654年，他在馬德堡進行了著名的馬德堡半球試驗用真空泵將兩個合在一起的直徑為14英寸35。