(半導體行業真空泵過濾器)

1、真空泵的應用遍及各個科學領域和各種企業事業單位，可供冶金化工輕工石油醫療制藥印染電器電真空半導體食品原子能紡織等科研機關大專院校工礦企業作科研和生產與教學之用。

2、購買無油真空泵當然首選盛源啊，他們是國家高新技術企業，技術先進，質量可靠，是真空泵行業里的佼佼者，廣受用戶的青睞和好評盛源的無油真空泵還有著壽命長操作簡單無油環保等優點，廣泛應用在各大醫療設備半導體。

3、干式螺桿真空泵由于其優越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子半導體制藥精密加工等行業首選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場德國幾家真空設備公司也逐步的。

4、有時候工作壓強由單獨一種真空泵并不能達到此時需要正確地將不同的真空泵組合成為真空機組，以滿足工作要求 例如半導體行業真空室體積較大，要求真空室內工作環境清潔無油，抽氣時間盡量短以提高工作效率這時抽速為15。

5、因為旋片式真空泵的結構緊湊抽速大占地面積小，所以可以代替多臺機械真空泵，因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉電力電容器變壓器真空熱處理真空鍍膜設備的預抽電真空半導體等行業中抽除密閉容器中含氧不高的。

6、干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面1低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中2半導體刻蝕工藝在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒3除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒。

7、1 流量計式真空計基于氣體熱導率和熱容的原理，測量從真空泵中排出的氣體熱傳導至流量計導體上的熱量，根據傳導到流量計導體上的熱量來計算氣體體積，從而推算出真空泵的排氣量2 等離子體式真空計其原理是使用高頻。