(廈門真空泵真空度達不到)

　　進口真空泵,旋片式真空泵等真空泵維修的技術我們前面也已經介紹過了，這里我們重點介紹真空鍍膜設備的檢修技術。真空鍍膜設備故障的判斷是進口真空泵,旋片式真空泵,真空泵維修,機械真空泵維修中的重要環節。一個實踐經驗豐富的檢修者,常常可以在短時間內找出復雜設備的故障所在,因而收到事半功倍的效果。要做到這點,真空泵維修人員除要掌握必要的真空知識外,還要熟悉各種設備的結構、特點,工作中還要勤于思考,善于總結才行。

　　真空泵出了故障從何下手,就我們的經驗總結為三句話:先低后高、先動后靜、先易后難。即先從低真空查到高真空,先查經常轉動的部件,后查不常動的部件,先檢容易的查,后檢難的查。遵循此原則,在檢修中就能收到快、好、省的效果。

　　真空泵故障的判斷與排除

　　1.大漏

　　機械真空泵開啟后,長時間仍有排大氣砰!砰!的響聲,并伴隨有大量的油霧,說明設備有大漏。這種故障,我們設備上的經驗是常由于機械真空泵缺油和電磁閥漏氣引起。判斷電磁閥故障可用手指模一下電磁閥放氣嘴吸不吸手,發現吸手,說明電磁閥沒吸合,或放氣口沒堵嚴,檢查保險絲和二極,管無問題時旋下放氣嘴,檢查“O”形圈與壁接觸是否太松,松時可以涂點耐溫的7501硅脂。

　　一些老式蒸發臺主閥的開閉是用橡皮碗的伸縮來動作,時間長了,橡皮老化,會有裂紋。因為在臺面下檢查困難,停泵又聽不到進氣聲,可用火焰探測法試。方法在玻璃棒上綁一棉球,蘸點酒精、點上火靠近疑點。如有大漏。火苗吸進。對有些間隙可以用停泵聽氣流來判斷,如鐘罩沒壓好,轉動桿太松,真空規管芯柱炸了等。

　　2.低真空抽不上

　　指機械真空泵只能抽到10帕,熱偶計指針指在20分格再也上不去。盡管目前擴散泵的性能有了很大改進,前置最大反壓強可以達到40帕。如果上述大小的漏孔正好處在機械真空泵與擴散泵排氣口之間,擴散泵雖然還能工作,但畢竟不太可靠,而且油也易氧化裂解。如漏孔不在上述部位,高真空就上不去,所以還要深入查找原因。

　　a.檢查鐘罩與可動電極

　　先查鐘罩放好沒有,是否壓在原位,橡皮密封處有無臟物,鐘罩觀察窗有無炸裂。若低真空上不去是發生在更換密封橡皮后,此時就要檢查橡皮圈入槽后是否服貼,有無凸凹部位,接著檢查電極是否上下串動,進一步判斷可把上下兩個旁通閥關閉,看前置真空能否抽上。抽上了說明前置沒有問題。上不去估計是下面原因。

　　b.上、下旁通閥桿軸密封不好

　　為了使管路緊湊,增大流異,新設計的鍍膜機都配置蝶閥。要得到好的真空度,蝶閥在安裝時,將閥的軸封置于前置真空,即閥門關閉時,閥的軸封處于低真空端。判斷軸封密封好壞只要來l可擰動閥門手柄,觀察熱偶真空計指針是否有變化即可(注意擰動手柄時不要把閥門關死。當擰動上旁通閥時指針有變化,說明問題就出在此閥上。主閥的閥桿軸的密封好壞也可用這種方法檢查。確定了某閥軸封漏氣后,只要用搬手把壓緊螺母旋緊即可。若不行就要拆下,更換新的密封圈。

　　c.閥門都好,真空度還上不去,就要仔細觀察真空設備其它有無毛病。比如玻璃有無炸裂(特別要注意芯柱處),熱偶計引線接觸是否良好,確認都無問題時,在機械真空泵本身原因,最好是把機械真空泵從設備上拉出來,單獨用真空橡皮管和熱偶計測量機械真空泵的極限真空,通常機械真空泵單抽都能達到1帕左右,達不到此值機械真空泵就有毛病。常見的是油臟,排除方法是把油放盡。打開機械真空泵上蓋,用紗布蘸去臟油,必要時用綢布蘸少許汽油擦干凈,用電吹風機吹干,灌進一點新油,開機械真空泵幾分鐘,把油放掉,這樣反復兩次即可。與此同時,可以旋下進氣管觀察橡皮密封圈及出氣口處橡皮壓塊是否有損壞,通常它們也是造成低真空上不去的原因。

　　d.拆洗機械真空泵

　　機械真空泵非到萬不得已時才拆,如鐵屑、砂子、碎玻璃等落入泵中或長期不用而銹蝕,泵太臟或卡死就要拆泵。先打開兩面端蓋,取出轉子及滑片,用廢汽油先洗一下,觀察哪里有傷痕或被咬啃的標記,用細油石或400號金相砂紙磨去凸起的金屬或毛刺。如果端蓋被轉子磨出明顯的傷痕和溝槽,可上平面磨床磨平,消除毛病后用汽油洗凈、烘干。裝配時在滑片、轉子、定子間涂一些新的機械真空泵油。緊固端蓋的螺絲很有講究。要達到手轉動皮帶輪時不太松,又不太緊,運轉自如,用手掌壓在進氣口處,有大的吸勁表明裝配正確。注入規定的油量就可試抽。

　　3.高真空抽不上

　　一般的真空蒸發設備,在正常狀態下能達到3×10-3帕。時間抽長點,鐘翠內部等支架比較干凈時,能抽到7×10-4帕左右。如果系統長時間進入不了10-3帕,說明高真空部分有毛病。生產上遇到的原因有以下幾種:

　　a.上旁通閥門密封圈松或損壞

　　蒸發設備幾個閥門中,此閥的故障率是最多的。這不是因為它的開閉次數。主要原因是抽大氣時,大量氣體先經過它,故鐘罩中蒸發時殘留下的微粒,如金屬、介質皮屑常被氣流吸卷著穿過此閥.其中一部分會粘到蝶閥的橡皮密封面處(通常裝閥時在密封面處涂上一層真空脂,故更易粘附)造成閥門關閉不嚴。從而使高壓強一端(低真空管路中)的氣流通過此閥漏入高真空區,造成高真空抽不上。判斷此閥故障比較簡單,轉動閥門手柄。如閥門關不到原位或到位很松(正常狀態時閥門快關到位時有鎖緊的手感),估計毛病在此。進一步證實,可以用鐘罩放氣來驗證,方法是把主閥和上下旁通閥都關閉,鐘罩放大氣,機械真空泵如有抽大氣的響聲即可證明。

　　修復的方法是拆下閥門,發現壞損的密封圈就要更換。如沒損壞只是碎屑粘上,可用綢布蘸上酒精擦掉。對松的密封圈可在閥蓋和閥桿中間墊金屬片(約0.2毫米~0.6毫米),具體墊多厚為宜,全憑搬動手柄人手的感覺,松緊要適中。

　　b.擴散泵中的問題

　　通常機械真空泵抽到1。帕,加熱擴散泵一小時左右,真空度就能進入4×10-3帕。若長期停在10-2帕,說明擴散泵以上部位有問題。是擴散泵本身問題,還是鐘罩上部的問題,可以關閉主閥判斷。方法是關閉主閥,記錄壓強隨時間的變化數值,劃出曲線。類似圖1所示曲線,a為關閉主閥時的壓強,如劃出的曲線像a、b、c那樣就可以判定系統有漏氣,問題出在主閥門上端。劃出曲線與abc相似,表明真空度上不去是擴散泵的問題。

　　擴散泵抽不上去多數為泵油被污染。當機械真空泵油進入擴散泵中后,最高真空度只能達到10-1帕。冷帽循環水管滲水,電子束蒸發臺電子槍水套滲水也會使真空度進不了10-3帕。此外,還有泵油嚴重氧化,也影響真空度,如果拆泵的決心還不大,還要做深入的判斷,可用液氮來試,方法是用一把長鑷子夾一塊棉花在液氮中浸一下馬上拿出,放在電離計的玻殼上輕輕擦。其部位見圖2所示。擦時注意,不要把大量的液氮滴到點燃的電離泡上。以免玻璃炸裂。如果真空計指針很快打到好的10-3帕或進入10-4帕。說明油泵本身不漏氣。抽氣也正常。系統也無明顯漏氣。上不去的原因就是高蒸汽壓的成份太多。我們用這種方法,先后發現了擴散泵冷帽水管有微漏。電子束蒸發合水套有漏水,補散泵油被機械真空泵油污染,擴散泵油嚴重氧化等故障。

　　擴散泵中缺油時,真空度會出現周期性的上升(升到10-2帕~10-3帕),下降(低于10-1帕)。用起子把柄敲擊泵殼可以改變起伏的周期。眾所周知,在立式擴散泵中,油鍋內用幾個直徑不同的圓柱管分開各級噴嘴,而用分餾孔來溝通油路,并起到分餾的目的。分餾孔常開成長方形或打成圓孔,離底部高度約8~16毫米(指口徑100~200毫米的擴散泵)。正常狀態油量的高度約20毫米,以保證油在工作時已被抽到低真空端(高壓強)的氣體不至于通過這些孔而反竄回來。當泵的加熱功率偏高,長時間沒有換油,當初加油量就偏少等都會造成泵中缺油壓強起伏。起伏的原因是由于擴散泵中存在油爆沸現象引起的。當油量少到某一值時,因爆沸油沖上去,此時油鍋中的油面封不住分餾孔,氣流從外側高壓強端通過孔竄入內側低壓區破壞了真空度。在爆沸的油流回鍋底時,液面士升,封住小孔,真空度又上升。只要觀察玻璃泵中油的工作狀態就不難分析出上述現象是由于泵中缺油造成的。所以經驗的積累,是靠平時長期地細致地觀察,加以綜合分析一點一滴得來的。

　　c.真空鐘罩上部有10帕~10-2帕·升/秒量級的漏孔存在

　　在高真空部位存有10帕~10-2帕·升/秒的漏孔就會使高真空上不去。這就要仔細查找。先用火花探漏儀檢查電離計熱偶計封接處有無漏孔,或玻璃炸裂。對有些玻璃裂紋,火花探漏儀是查不出的,要用肉眼仔細觀察,也可用棉花蘸酒精涂在可疑處,若有漏孔真空度下降。對鐘罩下方一組電極若有懷疑。可用注射針管吸上酒精往疑點噴射,小漏孔會因酒精暫時封往漏孔而使真空度上升,大漏孔會因酒精進入而使真空度下降。此法能幫助我們找到許多不易覺察到的漏孔。