(兩臺真空泵串聯接線圖)

可以互補在真空機組中用兩個以上真空泵可以互補，當一臺真空泵失效時，另一臺可以接替，確保系統的連續運行真空泵是指利用機械物理化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。

羅茨泵2500+1個羅茨泵600+2個并聯滑閥泵H150 就可以了，滑閥泵H150作為粗抽到500Pa左右開啟羅茨泵，維持泵也可以開啟其中一臺維持，在羅茨泵不運行時，羅茨泵只作為一個通道使用，同時在系統連接時在每臺滑閥泵上加一。

泵串聯一般是為了增加腔體的真空程度工業上為了得到超高真空，一般是串聯真空泵常見的真空串聯方式是，真空腔體先接渦輪分子泵，再接擴散泵再接油機械泵原因比較復雜泵串聯起來后使用有一定的講究，開機時先開油。

103帕以上多臺羅茨泵和螺桿真空泵的串聯真空度取決于泵的類型和連接方式，可以達到103帕以上羅茨泵與螺桿泵的轉動部件都是不接觸件，機組具備運轉平穩噪音低振動小，結構緊湊占地面積小等優點。