(羅茨真空泵的維修技術教程)

1、串連機械泵，如旋片泵水環泵往復泵等；羅茨真空泵一般作為前級泵使用，與水環真空泵和螺桿真空泵組合形成真空機組；真空泵的抽速不是恒定的，羅茨泵組的抽速取決于前級泵和羅茨泵各自的抽速，兩個泵同時啟動，由于一般羅茨泵的抽速比前幾泵的抽速快好多，當羅茨泵進氣口和出氣口的壓差達到羅茨泵設計的壓差時，主要前級泵在抽氣，一般；如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環－大氣泵或水環－羅茨真空機組作為抽真空裝置如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好因為單作用泵的構造簡單，容易制造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好 如果僅作較大。

2、如果是靠活塞往復運動或旋轉將氣體吸入壓縮并排出的真空泵，如往復真空泵旋片真空泵滑閥真空泵羅茨真空泵，產生噪音的原因很大程度來自活塞的磨損應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行真空泵在此區域內運行，不僅效率極低。

3、真空泵是一種將氣體從封閉容器或系統中抽出，使其內部形成真空狀態的設備它在許多領域中都有廣泛的應用，以下是真空泵的主要用途和作用1 半導體制造在半導體制造過程中，需要在高真空環境下進行，以避免雜質和污染。

4、如果需要更高的極限壓力，可以使用三臺羅茨泵與水環泵組合，它的極限壓力可以達到1Pa倘若三級水環機組還是不能滿足極限壓力的時候，我們可以采用水環泵并聯機械真空泵這個機組主要用于需要處理大量水蒸汽，時間長且極限真空。