如果還不能滿足要求,可在羅茨泵上方再串聯(lián)油擴(kuò)散泵,極限真空度可達(dá)00001Pa,但其價格較高,建議選用羅茨旋片真空機(jī)組,目前國內(nèi)做的最小的羅茨旋片機(jī)組為ZJ15羅茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵。
總之,往復(fù)式真空泵具有抽氣速度快抽真空范圍廣結(jié)構(gòu)簡單耐用性好和價格相對較低等優(yōu)點,是一種常用的機(jī)械真空泵如國產(chǎn)的WLW系列立式泵與老式W型臥式泵相比,有如下優(yōu)點動部位磨損減輕1功率消耗平均減少13,節(jié)能顯著例如,原W5功率為22KW,而WLW200B為15KW原W4為11KW,而WLW100。
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